簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鄭逸琳".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="無光罩微影系統"


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    短波長光源與非接觸浸潤式之無光罩微影系統研發暨其應用
    • 機械工程系 /101/ 博士
    • 研究生: 黃奕翔 指導教授: 鄭正元
    • 光學加工已經是目前科技中相當重要的一環,其中光微影製程為最重要的積體電路或微機電元件生產技術,由於元件開發往「輕、薄、短、小、低成本」的趨勢進行製程的開發;在微影製程中,傳統的方式已經無法再將尺寸縮…
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